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康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100

  • 更新時間:2021-04-14
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康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100
美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。

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 康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100

平面度儀測量多種不同指標:  
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓;完整的分析系統(tǒng):
?三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應用領域:
?實現(xiàn)單個或多個平面的光學非接觸一次性測量;
?適用多種類型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料;
?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰;
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面;

美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數(shù)據(jù)??祵嶤orning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量??梢詫崿F(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量,超過20年的工業(yè)應用,幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。

平面度儀可測量技術參數(shù):

精度50nm (2.0μ″)
重復性15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率5nm (0.2μ″)
可測量工件尺寸5mm-100mm
動態(tài)測量范圍>100um
測量數(shù)據(jù)點230,000 
測量時間5秒 
電源~220V 50Hz 

 

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